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热导式传感器XEN-TCG3880
产品型号:

XEN-TCG3880

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其它品牌

热导式传感器XEN-TCG3880详细介绍:

1.1 简介

XEN-TCG3880 是用硅技术制造的热导式传感器。传感器芯片包含了 2.5*3.33mm 的硅晶片, 0.3mm 的厚度,有一层氮化硅的薄膜。在中心是加热器,测量他的温度的传感器元件。芯片测试空气和膜的中心的热导率,这取决于几个参数,例如压力、气体类型和膜上的材料。这取决于允许 TCG 来测试的物理参数,例如绝压、混合气体和材料特性。 


XEN-TCG3880 的典型封装是带 10 引脚的 TO-5,其他的封装可根据需求安排。 


1.2 应用 

气体类型测量: 

1)热导率的测量

2)空气中的 He,CO2 等气体浓度的测量

3)混合气体成分的测量


真空度测量:

1)10mPa~10KPa 之间的真空度测量

2)密封气体的泄漏


其他参数详见规格书


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热导式传感器XEN-TCG3880

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